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微波等离子技术
双击自动滚屏 文章来源:老科协   发布者:shiyi   发布时间:2008/7/24 14:51:57   阅读:2600

转让或合作开发微波等离子技术项目

    1、中低温微波等离子镀膜机  可以淀积多种绝缘、隔离膜,包括二氧化硅、氮氧化硅、氮化硅及其复合膜;可以淀积非晶、多晶、微晶、纳晶硅、非晶碳化硅膜,微波功率5千瓦,温度700以下,有效面积Φ450毫米。

       2、高温微波等离子镀膜机   使用温度7001300,可以进行金刚石膜、立方氮化硼膜、氮化碳膜等沉积。衬底加热方法可以选用射频、中频或超音频。

       3、微波金属镀膜机   可以镀高熔点金属及其化合物,例如铜、镍、钛、钨或者氮化钛、硅化铬、氮化钨等。

       4、合作实验深亚微米刻蚀槽的铜互连填充。

       5、合作开发微波低熔金属化合物淀积实验。

       6、合作研究微波等离子外延实验。

       7、合作研发微波等离子法制造微器件,如微电阻、微电容、微电感及微机械等。

(查看全文:微波等离子技术与多种技术相结合)

    编辑部说明:“微波等离子技术项目”是青岛市老科协会员李烈英教授领导的课题组,经过多年的试验研究,研制开发的具有自主知识产权的科技成果。该成果在同领域里具有较高水平。我协会特于本网站向社会推荐。


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